林天河回到家，却发现老头回来了。

        他孤独的坐在书房，一只手拄着脑袋，像个石雕。

        林天河好奇的问道：“叔，什么时候回来的，你这是怎么了，看着闷闷不乐的？内地的培训都搞完了？”

        老头语气有些沉重，叹息着说道：“我上午回来的！哎，国内的光刻机，短时间内恐怕指望不上了！”

        这话不啻一瓢凉水，兜头浇下！

        林天河之前还觉得，造光刻机、生产电脑、搞操作系统，只是事情多了些，完全没难度嘛！等这些公司上了正轨，自己就可以抱着大把钞票，在全球股市收割，多美的事情！

        现在这是怎么回事呢？国内已经造出了光刻机了呀，怎么就指望不上了？

        根据他掌握的资料，美国GcA公司，于1978年研发成功的dSw4800型步进投影式光刻机，也就投入了500万美金的研发经费。

        而自己给两家国内企业，各投资200万美金，再结合当下国内的收入水平和物价，这至少不是相当于投资了1000万美金？

        老头不等林天河发问，便有些伤心的说道：“看起来，青华精密造出了步进投影式光刻机，你觉得精度稍微提高一些，肯定能够做出来。但这其中大有问题！”

        老头喝了口水又说道：“我这次亲自上手操作了那台机器，速度慢的要死，并且10来片晶圆，才能生产出一颗勉强可用的芯片！其实步进投影式光刻机，基本就是以后光刻机的模样了。”

        “即使后世ASmL的浸润式光刻机、极紫外光刻机，基本也是这个样子了！我能画出图纸，造不出来有什么用？”说完，双手使劲的往后扒拉——本就不多的头发，其中的失望，不言自明。

        林天河问道：“他们不是已经造出来过了吗？不就是在现有基础上，改进一些方案，提高一些精度吗？怎么变成这样了？”

        老头耷拉着眼皮，有气无力的说道：“在你看来，应该是这个样子，事实上却差的很远！这是实验室搞出来的试验品，完全不具备投入工业使用的条件！”

        “其一，工业品要求的是无差别复制，这不是一个艺术家大发灵感，画出世界上独一无二的画作！我们要求的是每一件产品的零件、外观、性能，全部毫无差别复制。”

        “其二，作为一台设备，它需要投入工厂中稳定地、连续不间断地运行的，每年偶尔可能需要检修几次，但是大部分时间它都不能停止工作！而不是像青华制作的设备，能连续工作几个小时，都要看天意！”

        老头讲的道理很明了，林天河却惊讶的合不拢嘴！

        他不是惊讶老头的话，而是惊讶自己与国内企业，在观念上的巨大差异。

        这能算工业设备吗？这完全就是个工艺品，只能看，不能用！

        老头抬起头，接着说道：“你还不知道吧！今年苏锡市的江南无线电器材厂，耗资6600万美金，日本东芝引进了一条3英寸晶圆生产线，5微米制程，月产1万片，主要生产电视机用的集成电路。”

        “今年国家外汇如此紧张，现在国内也没有兴起造不如买的风潮，为什么江南厂不购买国产光刻机？”

        是呀，为什么呢？明明国内能够生产，却耗费来之不易的外汇，去国外引进生产线呢？这么大一笔外汇，国家能同意？

        突然，老头噌的站了起来，一拍桌子，愤怒的说道：“因为那些造出来的光刻机，都是样子货！那是政治任务，上级过来检查检查，基本就束之高阁了！”

        “至于能不能批量生产，能不能大规模商用，没有一个人关心！并且，上级也知道，生产上不能指望这些设备！”

        说完，又颓然的缓缓坐下。

        “这——这——这！”林天河这了半天，也想不出合适的词来形容这么扯淡的情况。

        老头满脸无奈，摇着头说道：“我能够画出图纸，你说有什么用呀！他们完全造不出来呀！”

        林天河一脸疑惑，这都有图纸了，怎么会造不出来呢？

        没什么道理吧？毕竟现在的光刻机，没有那么复杂吧？

        后世的光刻机有几万个零部件，现在才哪到哪呀？

        不等林天河发问，老头接着说道：“光刻机原理其实很简单，就是把掩膜板的图纸投射在光刻胶上。你可以看成是，用光去照射一张纸上面、切割出来的一条条隙缝，漏出来的光投射到光刻胶上。光刻胶感光，变得容易腐蚀。”

        林天河想了想说道：“那不就是有些工人先刻出模子，再往上面涂抹颜料，就出现图形嘛！这个我懂！”

        老头说道：“那个模子，就类似掩膜板。我先说镜头，光越细，就越容易出现干涉条纹，这个你上中学应该学过。但是光刻机需要高精度，就必须使用短波长的光，现在基本都是用的汞光源的紫外光，就是让光不产生或者少产生干涉条纹。”

        “但这还是不够，还要用到镜头，通过几块、十几块、甚至几十块透镜组合，让光线更好的聚焦。这就要求镜头极其光滑，打个比方，如果把一块镜头扩展到地球这么大平面，不能有一个几厘米高的土堆！”

        “以后随着精度的提高，对镜头的要求，也会随之提高！同时，玻璃虽然透光，但是镜头多了，光线也会衰减，这就需要透光率更高的玻璃！”

        林天河目瞪口呆，他原来知道镜头技术含量很高，但没想到这么高！

        这镜头怎么抛光？

        打磨镜片的师傅手工抛光？

        老头却猜到了林天河所想，说到：“你想的没错，他们现在是使用老师傅手工抛光！那台光刻机上面的镜头，是从几百片镜片中挑出来的！”

        “我原想，他们既然能够生产3微米的光刻机了，那镜头应该不是问题，实际上却是大问题！我之前觉得能手搓光刻机，也真够狂妄无知了！”

        老头满脸沮丧，他又何尝不是心里拔凉？但老头还没说完，接着又说到：“不光是镜头，工件台的问题也很大！步进投影式光刻机，采用的是缩放投影的方式工作。因此曝光区不再是整个硅片，而是其中的一小块面积，所以每曝光一次，硅片就必须移动到下一个区域再曝光，直到全部完成。”

        “这样好处是提高了光刻的分辨率，但是曝光工作大量增加，这就是以牺牲速度换来更高的精度。”

        “工件台的定位精度影响对准精度，运动的速度决定了光刻机每小时的硅片曝光量，光刻机的精度和效率全靠工件台的技术水平。 ”

        “现在青华那台光刻机，是要精度没速度，要速度没精度。他们现在是需要停下来，手动调节，这你敢信？”

        林天河原来哪知道这个，他之前听过双工件工件台这个名词，上市的华焯精创他还买过股票。

        但是这工件台是怎么工作的，他是一无所知。

        现在总算明白了，这就相当于春节卖对联，写一个字，往上面拉一下纸再写下一个。拉的位置不准，字写错位置，整张纸就废了。拉的太慢，一上午写不了几幅。

        当然，人没有这么笨，还可以通过手臂调节，写到正确的位置上的，机器却不行。

        但是青华的光刻机是手动调节？

        光刻一个位置后，通过手柄移动位置？

        一个位置调节要几分钟？几十分钟？还是几个小时？

        老头又说道：“工件台的精度和速度要求极高，需要瞬间急加速然后瞬间急停。后世的工件台按照瞬间的加速度算，已经超过火箭发射升空的速度，而且还需要在下一刻精准的停在位置上，不能出现任何差错，因为这种速度下任何差错都没办法弥补。错了虽然不至于整片晶圆报废，但只能重来！”

        这是人类在与物理极限做斗争呀，现在的光刻机要差很多吧？

        林天河问道：“那后世的光刻机是怎么解决这个问题的？有没有借鉴意义？”

        老头说道：“这方面的技术思路，最开始使用伺服电机驱动，但是精度不够。后来改用油压驱动，又会产生巨大的噪声和震动。”

        “再往后，进步到气悬浮和磁悬浮。大致思路我知道，但是这个我完全不懂。ASmL的磁悬浮，再搭配量测工具，那是他们的绝招，不会外传的。”

        这东西，老头不懂，林天河更是不懂。听名字，大概知道是什么东西，但是具体是怎么工作的？鬼知道！

        老头接着说道：“刚才就说到测量工具，这东西你肯定懂，但是重要性你却不懂！测量的精度，你更是一无所知！早在1930年代，david mann就制作出了微米轮，可以测量1\/1000毫米。”

        “1959年，GcA公司收购了david mann创办的这家机械测量仪器公司，成立了事业部。1961年，david mann公司发布了现代意义上的第一台光刻机，型号971。从这里你就可以看到测量精度的重要性！”

        测量工具的重要性，林天河能够理解，但是要精密度要多高，老头没说。

        比如你生产一台光刻机，你怎么知道能达到什么光刻精度？

        安装时，地面的平整度，物镜与掩膜板的距离，掩膜板与工作台的距离，工件运送硅片的位置，全都需要测量。
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